Sputtering by particle bombardment . 2. , Sputtering of alloys and compounds, electron and neutron sputtering /
| Další autoři: |
Behrisch, R.
(
Editor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
angličtina |
| Vydavatel: |
Berlin :
Springer-Verl.,
1983.
|
|
|