Nanoscale calibrations : standards and methods : dimensional and telated mesurements in the micro- and nanometer range /
Další autoři: |
Wilkening, Günter
(
Editor )
|
---|---|
Typ dokumentu: | Kniha |
Jazyk: |
angličtina |
Vydavatel: |
Weinheim :
Wiley-VCH,
c2005.
|
Předmět: | |