Antireflecting-chromium linewidth standard, SRM 473, for calibration of optical microscope linewidth measuring systems /
| Hlavní autor: |
Potzik, James E.
(
Autor )
|
|---|---|
| Typ dokumentu: | Kniha |
| Jazyk: |
angličtina |
| Vydavatel: |
Washington, D.C. :
U.S. Government Printing Office,
1997.
|
| Vydání: | 1st Ed. |
| Edice: |
NIST special publication;
129 |
| Předmět: | |
|
|