Multicomponent and multilayered thin films for advanced microtechnologies: techniques, fundamentals and devices : Proceedings of the NATO Advanced Study Institute on Multicomponent... /
Další autoři: |
Engemann, Jürgen
(
Editor )
|
---|---|
Korporace: | |
Typ dokumentu: | Kniha |
Jazyk: |
angličtina |
Vydavatel: |
Dordrecht :
Kluwer,
1993.
|
Vydání: | 1st Ed. |
Edice: |
NATO ASI series. Ser. E: Applied Sciences
vol. 234 |
Předmět: | |