Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide

Autor:	Castille, Christophe
Jazyk:	francouzština
Rok vydání:	2010
Předmět:	MEMS (systèmes microélectromécaniques) Matériaux piézoélectriques Couches épaisses (électronique) Capteurs (technologie)
Druh dokumentu:	Text
Popis:	Résumé
Databáze:	Networked Digital Library of Theses & Dissertations
Externí odkaz:	http://www.theses.fr/2010BOR14005/document Zobrazit plný text záznamu