Studium povrchů tenkovrstvých materiálů
| Autor: | Trivedi, Rutul Rajendra |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2011 |
| Předmět: |
cyclic nanoindentation
konvenční nanoindentace vrypová zkouška adheze multivrstva cyklická nanoindentace mikroskopie atomárních sil adhesion scratch test plazmový polymer skenovací sondová mikroskopie conventional nanoindentation multilayer film scanning probe microscopy atomic force microscopy plasma polymer |
| Druh dokumentu: | Doctoral Thesis |
| Popis: | Disertační práce se zabývá studiem povrchových vlastností jedno a vícevrstvých filmů deponovaných z vinyltriethoxysilanových a tetravinylsilanových monomerů. Zabývá se také charakterizací adheze jednovrstvých filmů z tetravinylsilanu. Plazmaticky polymerizované tenké vrstvy byly připraveny na leštěných křemíkových substrátech pomocí plazmové depozice z plynné fáze za ustálených podmínek. Povrchové vlastnosti vrstev byly charakterizovány pomocí různých metod rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentačních technik jako je konvenční a cyklická nanoindentace. Vrypový test byl použit pro charakterizaci vlastností adheze vrstev. Jednovrstvé filmy připravené za různých depozičních podmínek byly charakterizovány s ohledem na povrchové morfologie a mechanické vlastností (modul pružnosti, tvrdost). Výsledky morfologie povrchu, analýzy zrn, nanoindentace, analýzy konečných prvků a modulů mapování pomohly rozlišit hybridní charakter filmů, které byly deponovány při vyšších výkonech RF-výboje. Nový přístup byl použit v povrchové charakterizaci vícevrstvého filmu pomocí rastrovací sondové mikroskopie a nanoindentace. Adhezívní chování plazmaticky polymerizovaných vrstev různých mechanických vlastností a tloušťek bylo analyzováno pomocí normálních a laterálních síl, koeficientu tření, a snímků vrypů získaných pomocí mikroskopie atomárních sil. |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|