Návrh a simulace čipu mikrobolometru v MEMS technologii

Autor:	Svatoš, Vojtěch
Jazyk:	angličtina
Rok vydání:	2014
Předmět:	Infrared detectors simulace. výrobní proces fabrication process thermal engineering teplotní managment mikrobolometr design Detektory infračerveného záření simulation. microbolometer
Druh dokumentu:	masterThesis
Popis:	Tato diplomová práce zkoumá problematiku detektoru infračerveného záření nazývaného bolometr. Cílem je pokrok v detekci infračerveného záření použitím odlišné absorpční vrstvy modifikovanou karbonovými nanotrubicemi. V teoretické části jsou uvedeny základní fyzikální pojmy z problematiky teplotního managmentu a základních fyzikálních vztahů bolometru. Design bolometru je představen a popsán. Teplotně mechanické simulace předvídají chování bolometru při detekci infračerveného záření. PSpice model je vytvořen a kombinuje termální a elektrické vlastnosti čipu bolometru. Dále je uveden proces výroby bolometru, které je detailně popsán.
Databáze:	Networked Digital Library of Theses & Dissertations
Externí odkaz:	http://www.nusl.cz/ntk/nusl-221020 Zobrazit plný text záznamu