Silicon nanoparticle deposition on silicon dioxide and silicon nitride : techniques, mechanisms and models
| Autor: | Leach, William Thomas |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2002 |
| Předmět: | |
| Popis: | text |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|