修整器設計及固定奈米鑽石拋光墊於改進化學機械拋光性能之研究
| Autor: | Shih, Cheng-Yi, 石正宜 |
|---|---|
| Rok vydání: | 2010 |
| Druh dokumentu: | 學位論文 ; thesis |
| Popis: | 98 |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Shih, Cheng-Yi, 石正宜 |
|---|---|
| Rok vydání: | 2010 |
| Druh dokumentu: | 學位論文 ; thesis |
| Popis: | 98 |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|