MIM二極體製作

Autor: CHEN,CHENG-ZHANG, 陳成章
Rok vydání: 1989
Druh dokumentu: 學位論文 ; thesis
Popis: 78
CO 雷射是紅外光區的重要光源。目前本實驗室除了基頻帶及熱頻帶的譜線外, 已經 成功地產生序頻帶的譜線, 為了測量及分辨這些新的譜線, 於是我們決定製作MIM 二 極體 (Metal-Insulator-Metal Diode)。本文旨在討論MIM 二極體的製作、測試及時 際測量。 參考文獻主要為Evenson 等人在1985年發表於J.Appl.Phys.(vol.57, pp.956), 以及 Javan 等人在1978年發表於J.Appl.Phys.(vol.49,pp.5270)的論文。 我們要製作MIMD, 首先以鋁合金製作MIMD的機械結構; 將鎳棒 (直徑4mm)的橫切面作 光學拋光, 當作MIMD的基部; 利用標準腐蝕技術將鎢絲 (直徑25μm)尖端蝕成42°, 當作MIMD的針。MIMD制作完成以後, 我們測量它的I-V 特性曲線, 用來判斷MIMD的好 壞。然後將一道多模態的CO 雷射光, 以 38°角打在MIMD上, 測試MIMD的電阻值及雷 射功率對MIMD偵測能力的影響。最後將二道CO 雷射光以 38°角同時打在MIMD上, 測 量它們的拍頻。 實際使用後證實自制IMID工作良好, 不過, 機械結構仍應修改, 增加穩定性。拉針部 份, NaOH的濃度為1∼2N,外加交流電壓約2∼4V,即可拉出所要的角度。I-V 曲線測試 後, 證實非線性越好, MIMD的響應能力越好。以雷射光打在MIMD上, MIMD的電阻值在 200Ω 左右, 雷射功率約30mW時, 信號最大, 約30∼60dB (大小與針有關)。以 9RR (12)與9SR(17) 二條譜線的CO 雷射光打在MIMD上, 得到15dB 的580MHz拍頻信號。由 這些果, 我們預期將可測量序頻帶譜線的頻率。
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