Herstellung und Charakterisierung von schmalbandigen EUV-Multischichtenspiegeln für Anwendungen mit Fs-HHG-Strahlung
| Autor: | Lim, Yong Cheol. |
|---|---|
| Jazyk: | němčina |
| Rok vydání: | 2001 |
| Předmět: | |
| Popis: | Bielefeld, Universiẗat, Diss., 2001. |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|