Nanolithographie par anodisation locale en microscopie à force atomique sur le phosphore d'indium pour des applications optoélectroniques

Autor: Tranvouez, Edern Brémond, Georges.
Jazyk: francouzština
Rok vydání: 2006
Předmět:
Popis: Thèse doctorat : Micro-Electronique. Dispositifs de l'Electronique Intégrée : Villeurbanne, INSA : 2005.
Titre provenant de l'écran-titre. Bibliogr. à la fin de chaque chapitre.
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