Diagnostics et modélisation en volume d'un plasma multipolaire d'hydrogène utilisé pour le nettoyage de surfaces d'arseniure de gallium

Autor:	Jacquin, Daniel
Jazyk:	francouzština
Rok vydání:	1988
Popis:	Th.--Phys. des plasmas--Paris 11, 1988.
Databáze:	Networked Digital Library of Theses & Dissertations
Externí odkaz:	http://catalogue.bnf.fr/ark:/12148/cb37614452w Zobrazit plný text záznamu