Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis
| Autor: | Mappes, Timo. |
|---|---|
| Jazyk: | němčina |
| Rok vydání: | 2006 |
| Popis: | Universiẗat, Diss., 2006--Karlsruhe. |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|