Mechanical Properties of Silicon-Based Membrane Windows Applied for a Miniature Electron Beam Radiation System
| Autor: | Yamaguchi, M., Yamada, Y., Goto, Y., Shikida, M., Sato, K. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2007 |
| Předmět: | |
| Druh dokumentu: | Article(publisher) |
| DOI: | 10.1109/SENSOR.2007.4300462 |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|