Electrostatic Latch Mechanism for Handling Projection on Arrayed Vertical Motion System
| Autor: | Takagi, S., Sasaki, H., Shikida, M., Sato, K. |
|---|---|
| Jazyk: | angličtina |
| Rok vydání: | 2007 |
| Předmět: | |
| Druh dokumentu: | Article(publisher) |
| DOI: | 10.1109/SENSOR.2007.4300338 |
| Databáze: | Networked Digital Library of Theses & Dissertations |
| Externí odkaz: |
|