Particle Composition of High-Pressure SF_6 Plasma with Electron Temperature Greater than Gas Temperature

Autor: Tanaka, Yasunori, Yokomizu, Yasunobu, Ishikawa, Motohiro, Matsumura, Toshiro
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 1997
Předmět:
Druh dokumentu: Article(publisher)
ISSN: 0093-3813
Databáze: Networked Digital Library of Theses & Dissertations