A laser-assisted microchemistry system for the fabrication of small electromechanical devices

Autor: Nassuphis, Nick I
Jazyk: angličtina
Rok vydání: 1994
Předmět:
Druh dokumentu: Diplomová práce
Popis: Thesis (M.S.)--Massachusetts Institute of Technology, Dept. of Mechanical Engineering, 1994.
Includes bibliographical references (leaves 80-82).
by Nick I. Nassuphis.
M.S.
Databáze: Networked Digital Library of Theses & Dissertations