Dépôt de composés inorganiques du Si par plasma CVD sur substrats polymériques, caractérisation structurale et fonctionnelle

Autor: Silva Sobrinho, Argemiro Soares da
Jazyk: francouzština
Rok vydání: 1999
Druh dokumentu: Electronic thesis or dissertation
Databáze: Networked Digital Library of Theses & Dissertations