Beeinflussung des Wärme- und Stofftransports bei der Vertical Gradient Freeze-Kristallzüchtung durch ein rotierendes Magnetfeld

Autor:	Wunderwald, Ulrike
Jazyk:	němčina
Rok vydání:	2009
Předmět:	info:eu-repo/classification/ddc/530 ddc:530 info:eu-repo/classification/ddc/540 ddc:540 Kristallzüchtung Magnetfeld Versuchsanlage Schmelze erzwungene Strömung Transportprozesse Segregation Werkstoff Mikrosegregation Rotation Bridgman-Verfahren Transportprozess
Druh dokumentu:	Text<br />Doctoral Thesis
Popis:	Bei der Vertical Gradient Freeze-Züchtung von Halbleiterkristallen bis zu einem Durchmesser von 2″ wurde in einer speziell entwickelten Anlage die Beeinflussung des Wärme- und Stofftransports in der Schmelze durch ein rotierendes Magnetfeld (RMF) untersucht. An GaAs- und Ge-Kristallen konnte bei Einwirkung des RMF eine verminderte Durchbiegung der Phasengrenze aufgrund geringerer radialer Temperaturgradienten festgestellt werden. Die Analyse der Segregationsprozesse ergab unter RMF-Einfluss signifikante Änderungen der Ausdehnung der Diffusionsgrenzschicht vor der Phasengrenze. Dies spiegelte sich in einer verbesserten axialen und radialen Homogenität der Ladungsträgerverteilung in den Kristallen wider. Die kritische magnetische Taylor-Zahl, die den Übergang von stationärer zu instationärer RMF-Konvektion charakterisiert, konnte für verschiedene Geometrieverhältnisse der Schmelze experimentell bestimmt werden.
Databáze:	Networked Digital Library of Theses & Dissertations
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