Elektrische und mikrostrukturelle Effekte in hochdotiertem 6H-SiC nach Ionenimplantation

Autor:	Wirth, Hans
Jazyk:	němčina
Rok vydání:	2010
Zdroj:	Forschungszentrum Rossendorf; FZR-236
Druh dokumentu:	Report
Databáze:	Networked Digital Library of Theses & Dissertations
Externí odkaz:	https://hzdr.qucosa.de/id/qucosa%3A21883 https://hzdr.qucosa.de/api/qucosa%3A21883/attachment/ATT-0/ Zobrazit plný text záznamu