Integrierte Hochvolt-Ansteuerelektronik für Mikroaktoren mit elektrostatischem Antrieb

Autor:	Heinz, Steffen
Jazyk:	němčina
Rok vydání:	2006
Předmět:	info:eu-repo/classification/ddc/620 ddc:620 Aktor Ansteuerung Integrierte Schaltung Hochvolt-Elektronik Hochvolt-Verstärker Hysteresis Puls Width Modulation Level-Shifter Mikroaktorarray Puls Width Modulation Silicon On Insulator Systemintegration Torsionsspiegel
Druh dokumentu:	Text<br />Doctoral Thesis
Popis:	Die vorliegende Arbeit behandelt integrierte Hochvolt-Schaltungen für die Ansteuerung elektrostatisch arbeitender Mikroaktoren und Mikroaktorarrays. Im Besonderen wird auf die Gesichtspunkte der Treiberschaltungen von Torsionsspiegelarrays eingegangen. Es werden verschiedene Verstärkerbetriebsarten und Schaltungsvarianten hinsichtlich der Ansteuerung kleiner kapazitiver Lasten beurteilt. Für die hocheffiziente Signalübertragung zwischen Low-Side und High-Side in geschalteten Hochvolt-Verstärkern wird ein neuer dynamischer Level-Shifter vorgestellt. Anhand eines gebondeten Mikroelektronik-Mikromechanik-Aufbaus für ein Hadamard-Transformations-Spektrometer werden die speziellen Aspekte des Elektronikentwurfs für ein System-in-Package aufgezeigt. Als Entwurfsgrundlage wird ein Überblick über die wesentlichen Isolationstechnologien für integrierte Hochvolt-Schaltungen und über die Bauelementemodellierung in einer SOI-Technologie ausgearbeitet. Außerdem werden die Vor- und Nachteile der wichtigsten Antriebsprinzipien von Mikroaktoren zusammengefasst.
Databáze:	Networked Digital Library of Theses & Dissertations
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