Elektrische Charakterisierung PLD-gewachsener Zinkoxid-Nanodrähte

Autor: Zimmermann, Gregor
Jazyk: němčina
Rok vydání: 2010
Předmět:
info:eu-repo/classification/ddc/537
ddc:537
info:eu-repo/classification/ddc/539
ddc:539
Zinkoxid
Nanostruktur
Nanodraht
Impulslaserbeschichten
Dotierung
Aluminium
Phosphor
Strommessung
Elektrischer Strom
Spezifischer Widerstand
Ladungsträgerbeweglichkeit
Freier Ladungsträger
Elektronenstrahllithographie
Rasterelektronenmikroskop
Rasterkraftmikroskop
Zinkoxid
ZnO
Nanodraht
PLD
Dotierung
Phosphor
Aluminium
elektrische Charakterisierung
spezifischer Widerstand
Transferlänge
Kontaktierung
Lithographie
EBID
IBID
EBL
SPM
EDX
IU
Ensemble
Polystyren
einbetten
stabilisieren

zinc oxide
ZnO
nanowire
PLD
doping
phosphorus
aluminium
electric charakterisation
specific electrical resistance
resistivity
transfer length
contacts
lithography
EBID
IBID
EBL
SPM
EDX
IU
ensemble
Polystyrene
embedding
stabilization
Druh dokumentu: Text<br />Doctoral Thesis
Popis: Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der elektrischen Charakterisierung von Zinkoxid-Nanodrähten, die mittels gepulster Laserablation (PLD) hergestellt wurden. Ausgehend von den so generierten ZnO-Nanodraht-Ensembles werden Methoden zu deren elektrischer Untersuchung diskutiert und auf praktische Anwendbarkeit hin verglichen. Die entwickelten Methoden werden auf Ensembles von auf n-leitenden ZnO- und ZnO:Ga-Dünnschichten aufgewachsenen Phosphor-dotierten ZnO-Nanodrähten angewendet. Deren reproduzierbares, in Strom–Spannungs- (I–U-) Kennlinien beobachtetes diodenartiges Verhalten wird genauer beleuchtet. Im Zusammenhang mit der elektrischen Charakterisierung einzelner ZnO-Nano-drähte werden experimentelle Methoden zur Vereinzelung und zur Kontaktierung der vereinzelten ZnO-Nanodrähte diskutiert. Dabei werden sowohl etablierte Methoden wie Elektronenstrahllithographie (EBL) als auch neue Techniken wie elektronen- und ionenstrahlinduzierte Deposition (EBID/IBID) und Strom–Spannungs-Rastersondenmikroskopie (I-AFM) behandelt und ihre Eignung für eingehende elektrische Untersuchungen und reproduzierbare Messungen analysiert. Die geeignetsten Methoden werden schließlich eingesetzt, um spezifischen Widerstand sowie Ladungsträgermobilität und -dichte sowohl in nominell undotierten als auch in Aluminium-dotierten ZnO-Nanodrähten zu untersuchen und zu vergleichen. In der Ableitung der physikalischen Materialparameter aus den Messdaten wird dabei besonderes Augenmerk auf die Einbeziehung der geometrischen Besonderheiten der Nanodrähte gegenüber Volumenmaterial- und Dünnschichtproben gelegt. Im Zuge dessen wird unter anderem ein Modell für den elektrischen Widerstand in Nanodrähten mit ihrer Länge nach veränderlichem Querschnitt abgeleitet.
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