Elektrische Charakterisierung PLD-gewachsener Zinkoxid-Nanodrähte
Autor: | Zimmermann, Gregor |
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Jazyk: | němčina |
Rok vydání: | 2010 |
Předmět: |
info:eu-repo/classification/ddc/537
ddc:537 info:eu-repo/classification/ddc/539 ddc:539 Zinkoxid Nanostruktur Nanodraht Impulslaserbeschichten Dotierung Aluminium Phosphor Strommessung Elektrischer Strom Spezifischer Widerstand Ladungsträgerbeweglichkeit Freier Ladungsträger Elektronenstrahllithographie Rasterelektronenmikroskop Rasterkraftmikroskop Zinkoxid ZnO Nanodraht PLD Dotierung Phosphor Aluminium elektrische Charakterisierung spezifischer Widerstand Transferlänge Kontaktierung Lithographie EBID IBID EBL SPM EDX IU Ensemble Polystyren einbetten stabilisieren zinc oxide ZnO nanowire PLD doping phosphorus aluminium electric charakterisation specific electrical resistance resistivity transfer length contacts lithography EBID IBID EBL SPM EDX IU ensemble Polystyrene embedding stabilization |
Druh dokumentu: | Text<br />Doctoral Thesis |
Popis: | Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich mit der elektrischen Charakterisierung von Zinkoxid-Nanodrähten, die mittels gepulster Laserablation (PLD) hergestellt wurden. Ausgehend von den so generierten ZnO-Nanodraht-Ensembles werden Methoden zu deren elektrischer Untersuchung diskutiert und auf praktische Anwendbarkeit hin verglichen. Die entwickelten Methoden werden auf Ensembles von auf n-leitenden ZnO- und ZnO:Ga-Dünnschichten aufgewachsenen Phosphor-dotierten ZnO-Nanodrähten angewendet. Deren reproduzierbares, in Strom–Spannungs- (I–U-) Kennlinien beobachtetes diodenartiges Verhalten wird genauer beleuchtet. Im Zusammenhang mit der elektrischen Charakterisierung einzelner ZnO-Nano-drähte werden experimentelle Methoden zur Vereinzelung und zur Kontaktierung der vereinzelten ZnO-Nanodrähte diskutiert. Dabei werden sowohl etablierte Methoden wie Elektronenstrahllithographie (EBL) als auch neue Techniken wie elektronen- und ionenstrahlinduzierte Deposition (EBID/IBID) und Strom–Spannungs-Rastersondenmikroskopie (I-AFM) behandelt und ihre Eignung für eingehende elektrische Untersuchungen und reproduzierbare Messungen analysiert. Die geeignetsten Methoden werden schließlich eingesetzt, um spezifischen Widerstand sowie Ladungsträgermobilität und -dichte sowohl in nominell undotierten als auch in Aluminium-dotierten ZnO-Nanodrähten zu untersuchen und zu vergleichen. In der Ableitung der physikalischen Materialparameter aus den Messdaten wird dabei besonderes Augenmerk auf die Einbeziehung der geometrischen Besonderheiten der Nanodrähte gegenüber Volumenmaterial- und Dünnschichtproben gelegt. Im Zuge dessen wird unter anderem ein Modell für den elektrischen Widerstand in Nanodrähten mit ihrer Länge nach veränderlichem Querschnitt abgeleitet. |
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