Imprint Lithography with 25-Nanometer Resolution
Autor: | Chou, Stephen Y., Krauss, Peter R., Renstrom, Preston J. |
---|---|
Zdroj: | Science, 1996 Apr 01. 272(5258), 85-87. |
Databáze: | JSTOR Journals |
Externí odkaz: |
Autor: | Chou, Stephen Y., Krauss, Peter R., Renstrom, Preston J. |
---|---|
Zdroj: | Science, 1996 Apr 01. 272(5258), 85-87. |
Databáze: | JSTOR Journals |
Externí odkaz: |