The Fabrication of Microelectronic Circuits

Autor:	Oldham, William G.
Zdroj:	Scientific American, 1977 Sep 01. 237(3), 110-129.
Databáze:	JSTOR Journals
Externí odkaz:	https://www.jstor.org/stable/24920323 Zobrazit plný text záznamu Full text from SpringerLink