Image-Based Parametric Pattern Recognition for Micro- and Nano- Defect Detection
Autor: | Belikov, Sergey ⁎, Su, Chanmin ⁎⁎, Enachescu, Marian ⁎⁎⁎ |
---|---|
Zdroj: | In IFAC PapersOnLine 2020 53(2):8591-8598 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Belikov, Sergey ⁎, Su, Chanmin ⁎⁎, Enachescu, Marian ⁎⁎⁎ |
---|---|
Zdroj: | In IFAC PapersOnLine 2020 53(2):8591-8598 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |