Autor:	Leitner, Jindřich, Bartůněk, Vilém, Sedmidubský, David, Jankovský, Ondřej
Zdroj:	In Applied Materials Today March 2018 10:1-11
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect