Stress Reduction in Sputtered Thin NiFe 81/19 Layers for Magnetic Field Sensors
Autor: | Jogschies, L., Rittinger, J., Klaas, D., Wurz, M.C. |
---|---|
Zdroj: | In Procedia Technology 2016 26:162-168 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Jogschies, L., Rittinger, J., Klaas, D., Wurz, M.C. |
---|---|
Zdroj: | In Procedia Technology 2016 26:162-168 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |