Stress Reduction in Sputtered Thin NiFe 81/19 Layers for Magnetic Field Sensors
| Autor: | Jogschies, L., Rittinger, J., Klaas, D., Wurz, M.C. |
|---|---|
| Zdroj: | In Procedia Technology 2016 26:162-168 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Jogschies, L., Rittinger, J., Klaas, D., Wurz, M.C. |
|---|---|
| Zdroj: | In Procedia Technology 2016 26:162-168 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|