Miniature Integrated High-vacuum MEMS
| Autor: | Grzebyk, Tomasz, Górecka-Drzazga, Anna, Dziuban, Jan A., Dankovic, Tatjana, Feinerman, Alan, Busta, Heinz |
|---|---|
| Zdroj: | In Procedia Engineering 2014 87:891-894 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Grzebyk, Tomasz, Górecka-Drzazga, Anna, Dziuban, Jan A., Dankovic, Tatjana, Feinerman, Alan, Busta, Heinz |
|---|---|
| Zdroj: | In Procedia Engineering 2014 87:891-894 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|