CMOS-integrable Ultrathin SnO2 Layer for Smart Gas Sensor Devices
| Autor: | Mutinati, G.C., Brunet, E., Steinhauer, S., Köck, A., Teva, J., Kraft, J., Siegert, J., Schrank, F., Bertagnolli, E. |
|---|---|
| Zdroj: | In Procedia Engineering 2012 47:490-493 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|