Thermal flow sensors for MEMS spirometric devices

Autor:	Hedrich, F., Kliche, K., Storz, M., Ashauer, H., Zengerle, R.
Zdroj:	In Procedia Chemistry September 2009 1(1):911-914
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu