Autor:	de Melo, O., Ramírez-López, M., Pérez-Caro, M., Gallardo-Hernández, S., Casallas-Moreno, Y.L., Sánchez, M., Ortega, J., Santana, G., Behar, M., González, Y., López-López, M.
Zdroj:	In Materials Science in Semiconductor Processing 1 November 2022 150
Databáze:	ScienceDirect
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