Deposition of Fe2O3:Sn semiconducting thin films by reactive pulsed HiPIMS + ECWR co-sputtering from Fe and Sn targets

Autor: Krýsová, H., Cichoň, S., Kapran, A., Volfová, L., Chvostová, D., Imrich, T., Neumann-Spallart, M., Krýsa, J., Hubička, Z.
Zdroj: In Journal of Photochemistry & Photobiology, A: Chemistry 1 September 2024 454
Databáze: ScienceDirect
Externí odkaz: