Surface micromachined diamond microswitch
Autor: | Ertl, S. *, Adamschik, M., Schmid, P., Gluche, P., Flöter, A., Kohn, E. |
---|---|
Zdroj: | In Diamond & Related Materials April-May 2000 9(3-6):970-974 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Ertl, S. *, Adamschik, M., Schmid, P., Gluche, P., Flöter, A., Kohn, E. |
---|---|
Zdroj: | In Diamond & Related Materials April-May 2000 9(3-6):970-974 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |