Improved anti-stiction coating of SU-8 molds

Autor:	Moresco, Jacob, Clausen, Casper H., Svendsen, Winnie
Zdroj:	In Sensors & Actuators: B. Chemical 2010 145(2):698-701
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect