DRIE based technology for 3D silicon barcodes fabrication
| Autor: | Gómez-Martínez, R., Sánchez, A., Duch, M., Esteve, J., Plaza, J.A. |
|---|---|
| Zdroj: | In Sensors & Actuators: B. Chemical 2011 154(2):181-184 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Gómez-Martínez, R., Sánchez, A., Duch, M., Esteve, J., Plaza, J.A. |
|---|---|
| Zdroj: | In Sensors & Actuators: B. Chemical 2011 154(2):181-184 |
| Databáze: | ScienceDirect |
| Externí odkaz: |
|
Full Text from ScienceDirect