Technology of thermally driven and magnetomotively detected MEMS microbridges
Autor: | Moczała, M., Babij, M., Majstrzyk, W., Sierakowski, A., Dobrowolski, R., Janus, P., Grabiec, P., Gotszalk, T. |
---|---|
Zdroj: | In Sensors & Actuators: A. Physical 1 April 2016 240:17-22 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |