Technology of thermally driven and magnetomotively detected MEMS microbridges

Autor: Moczała, M., Babij, M., Majstrzyk, W., Sierakowski, A., Dobrowolski, R., Janus, P., Grabiec, P., Gotszalk, T.
Zdroj: In Sensors & Actuators: A. Physical 1 April 2016 240:17-22
Databáze: ScienceDirect