Piezoelectric unimorph valve assembled on an LTCC substrate
Autor: | Sobocinski, M., Juuti, J., Jantunen, H., Golonka, L. |
---|---|
Zdroj: | In Sensors & Actuators: A. Physical 2009 149(2):315-319 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |
Autor: | Sobocinski, M., Juuti, J., Jantunen, H., Golonka, L. |
---|---|
Zdroj: | In Sensors & Actuators: A. Physical 2009 149(2):315-319 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |