Wafer level anti-stiction coatings for MEMS

Autor:	Ashurst, W.Robert, Carraro, C, Maboudian, R, Frey, W
Zdroj:	In Sensors & Actuators: A. Physical 2003 104(3):213-221
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect