Tensile-mode fatigue testing of silicon films as structural materials for MEMS

Autor:	Ando, Taeko *, Shikida, Mitsuhiro, Sato, Kazuo
Zdroj:	In Sensors & Actuators: A. Physical 2001 93(1):70-75
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect