Impedance spectroscopy of electrostatically driven MEMS resonators
Autor: | Kwoka, Krzysztof, Piasecki, Tomasz, Orłowska, Karolina, Grabarczyk, Paulina, Sierakowski, Andrzej, Gotszalk, Teodor, Gacka, Ewelina, Piejko, Adrianna, Gajewski, Krzysztof |
---|---|
Zdroj: | In Measurement 30 June 2023 215 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |