Pattern formation of Si surfaces by low-energy sputter erosion

Autor:	Zhang, K., Rotter, F., Uhrmacher, M., Ronning, C., Hofsäss, H., Krauser, J.
Zdroj:	In Surface & Coatings Technology 2007 201(19):8299-8302
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect