Properties of reactively sputtered W–Si–N films

Autor:	Musil, J. *, Daniel, R., Soldán, J., Zeman, P.
Zdroj:	In Surface & Coatings Technology 2006 200(12):3886-3895
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect