RIR MAPLE procedure for deposition of carbon rich Si/C/H films

Autor:	Dřínek, Vladislav, Strašák, Tomáš, Novotný, Filip, Fajgar, Radek, Bastl, Zdeněk
Zdroj:	In Applied Surface Science 15 February 2014 292:413-419
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect