Spectroscopic ellipsometry on sinusoidal surface-relief gratings
Autor: | Antos, R. *, Ohlidal, I., Franta, D., Klapetek, P., Mistrik, J., Yamaguchi, T., Visnovsky, S. |
---|---|
Zdroj: | In Applied Surface Science 2005 244(1):221-224 |
Databáze: | ScienceDirect |
Externí odkaz: |