Autor:	Motte, P ^*, Proust, M, Torres, J, Gobil, Y, Morand, Y, Palleau, J, Pantel, R, Juhel, M
Zdroj:	In Microelectronic Engineering 2000 50(1):369-374
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect