Autor:	Wu, Zeyu ^{a, b}, Niu, Bo ^{a, b}, Hong, Yiyi ^{a, b}, Zhao, Junyuan ^{a, b}, Zhu, Yinfang ^{a, b, ⁎}, Yang, Jinling ^{a, b, ⁎}
Zdroj:	In Microelectronic Engineering 2 January 2025 295
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect