Fin shape dependent variability for strained SOI FinFETs

Autor:	Dubey, Shashank, Kondekar, Pravin N.
Zdroj:	In Microelectronic Engineering 16 August 2016 162:63-68
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect