Autor:	Mannequin, Cédric, Delamoreanu, Alexandru, Latu-Romain, Laurence, Jousseaume, Vincent, Grampeix, Helen, David, Sylvain, Rabot, Caroline, Zenasni, Aziz, Vallee, Christophe, Gonon, Patrice
Zdroj:	In Microelectronic Engineering 1 August 2016 161:82-86
Databáze:	ScienceDirect
Externí odkaz:	Zobrazit plný text záznamu Full Text from ScienceDirect